Заказная электроника для гироскопов и акселерометров

«ИДМ-Плюс» выполняет полный цикл разработки датчиков физических величин на основе МЭМС-преобразователей, включающую в себя:

• разработку и расчет характеристик кремниевых МЭМС-преобразователей физических величин
• ускорение, сила, вибрация, угловая скорость, давление, скорость потока, температура и др.;
• разработку, оптимизацию и локализацию технологических маршрутов МЭМСпреобразователей физических величин с учетом особенностей кремниевой фабрики;
• сопровождение и инспекционный контроль изготовления МЭМСпреобразователей по разработанному технологическому маршруту;
• анализ и экспертную оценку конструкционных и технологических решений в области кремниевых датчиков физических величин отечественных и зарубежных производителей;
• обзор тенденций и перспектив развития датчиков физических величин на основе МЭМС-преобразователей.

Основной фокус разработок компании сосредоточен на инерциальных датчиках на основе емкостных МЭМС-преобразователей, как наиболее востребованных элементов системы управления движущимся объектом.

«ИДМ-ПЛЮС» имеет опыт в реализации:
1. Преобразование первичного сигнала:
а) емкостный интерфейс: CV-преобразование с высоким разрешением;
б) преобразование "емкость-код" с использованием АЦП;
в) преобразование выхода мостовой схемы резистивных датчиков;
г) дельта-сигма-преобразователи.

2. Цифровые алгоритмы обработки:
а) линеаризация выходного кода преобразователя;
б) цифровая компенсация с использованием полиномиальных зависимостей;
в) нормирование сигнала и регулировка усиления.

3. Интерфейсы для настройки и передачи данных:
а) SPI/SSI различной конфигурации;
б) однопроводный интерфейс, совмещенный с информационным для систем с коммуникационными ограничениями;
в) ШИМ, в том числе и с диагностическимидиапазонами;
г) аналоговый линейный, в том числе с диагностическими диапазонами;
д) I2C для сопряжения с внешней EEPROM для хранения настроек;
е) инкрементальный A/B/Z и Step/Dir;
ж) драйвер RS-485 для SSI и инкрементального интерфейса.

4. АЦП/ЦАП:
а) SAR до 18 бит/500 кГц;
б) сигма-дельта до 18 бит;
в) строковые и R2R ЦАП, до 14 бит;
г) дельта-сигма ЦАП до 18 бит;

5. Интегрированный датчик температуры.
Технологии ИС: КМОП, БиКМОП, КНИ с проектными нормами до 180 нм, аналогоцифровые.
Уровень сложности: до 16 тыс. триггеров, до 2 млн. элементов.
Память: EEPROM, ROM, OTP-ROM, RAM, Flash
Интегрированные элементы Холла собственной разработки.
Технология МЭМС-преобразователей: прямой бондинг пластин, Bosch-процесс, капсулирование чувствительных элементов в составе пластины.
Технология МЭМС-преобразователей: прямой бондинг пластин, Bosch-процесс, капсулирование чувствительных элементов в составе пластины.

В части законченных датчиков на основе МЭМС-преобразователей компания специализируется на следующих направлениях:
1. 1- и 3х-осевые акселерометры и инклинометры;
2. МЭМС-гироскопы (датчики угловой скорости);
3. Датчики абсолютного давления;
4. Инерциальные измерительные блоки.